9月9日消息,据报道,中国两大存储芯片巨头长鑫存储与长江存储已从荷兰ASML采购了足够多的DUV光刻机及关键零部件,现有储备量足以支撑未来三年的扩产与日常晶圆制造需求。
此次大规模囤积设备,被视为两家存储巨头为应对日益收紧的半导体设备出口管制、保障产能扩张计划不受供应链中断影响的关键举措。
近年来,欧美多国对华先进制程设备的限制范围已从EUV向DUV光刻系统蔓延。尽管中国芯片制造商仍被限制采购更先进的EUV光刻机,但DUV光刻机仍足以覆盖当前主流存储芯片的扩产需求。
尤其是在美国众议院推动将长鑫存储、长江存储晶圆厂列为受管制设施,试图全面切断DUV光刻机等先进设备供应的背景下,两家厂商提前囤够三年设备用量,相当于给扩产计划上了一道“防断供保险”。美国想用设备禁运卡脖子,如今这招已基本失效。
消息人士透露,两家晶圆厂储备的设备主要包括NXT:1980系列及其他型号的浸没式DUV光刻机,储备战略还延伸至关键零配件与维护耗材。
通过多重曝光等复杂的制造工艺创新,两家企业依然能够利用现有的DUV机台推进下一代高密度DRAM和超高层数3D NAND芯片的量产与迭代。
TrendForce指出,长鑫存储研发人员规模一年内扩大超60%,员工总数已超SK海力士的78%。
充足的设备和人才储备,意味着两家厂商在DRAM和NAND闪存领域的产能扩张将更具确定性,随着产能持续释放,全球存储器市场的供需格局与定价体系将迎来新的变量。